半导体机台的EHM(Equipment Healthy Management)资料是最典型的BigData。每个机台每分钟都送出数以万计的数据，其数量之大累积速度之快绝对超乎想象。xEHM 就是为了将这些最原始、最细微的数据予以妥善运用使其能结合 SPC (Statistical Process Control, 统计制程管制)、APC (Advanced Process Control, 先进制程控制, 亦称 RtR)、YMS (Yield Management Solution,良率提升管理解决方案)、VM (Virtual Metrology,虚拟量测) 等方法，一条龙式满足工厂管理的需求，达到质量与产能提升的目的。